·新品聚焦失效分析和过程控制的先进分析能力 提高工厂及实验室效率
财经评论上海报道 科学服务领域的世界领导者赛默飞世尔科技（以下简称：赛默飞）亮相在上海举办的SEMICON China 30周年展会（3月14-16日），发布并展示了新一代的解决方案，帮助提高3D NAND、逻辑、DRAM、模拟和显示器件生产的品控和良率，助力中国半导体产业的高速发展。
近年来在新兴技术市场趋势和中国政策支持的双重利好推动下，中国半导体产业的发展达到了前所未有的高度；各省各市纷纷响应《国家集成电路产业发展推进纲要》设立集成电路产业投资基金，也为中国半导体和电子科技产业带来了前所未有的机遇——预计未来几年内，中国仍将会是全球最大的集成电路市场，且将保持20%左右的年均增长率。2018年是实施“十三五”规划承上启下的关键一年，也是我国集成电路产业发展进入攻坚阶段的一年。在经历了过去几年的密集投入之后，国内众多的集成电路项目将在2018年开始面对市场的检验，提升产品的品控和良率势在必行。
“随着3D NAND产品的快速增长和制造商向高堆栈方向的发展， 行业的复杂性和资金投入也相应增长， 制程控制的需求变得更加严格。 从二维到3D设备如FinFETs转变的行业变化也使得逻辑芯片过程控制变得空前严峻。” 赛默飞半导体行业副总裁及总经理Rob Krueger说到，“ 赛默飞在半导体及显示器制造行业的制程控制、过程根本原因诊断及产品失效分析领域有着很深的根基， 我们充分认识到亚洲特别是中国制造能力的创新及持续扩大生产的快速脚步，也一直致力于践行“扎根中国，服务中国”的承诺，我们非常荣幸能够借此次展会为本体客户半导体和平板显示器客户带来了几款新产品，帮助客户提高产品良率。”
“Thermo Scientific™ Verios G4 XHR SEM超高分辨率扫描电镜为生产商提供了确定缺陷、找到良率损失以及工艺和产品失效根本原因所需的检测能力和灵活性。Verio G4一款扫描电镜产品，它是我们取得广泛成功及认可的双束电镜（离子束/扫描电镜）Helios家族的一员， 它能够在最宽的条件下，特别是在先进制程中使用的光束敏感性材料所需的低电压下提供最佳的性能。
纳米探针科技对单个晶体管进行电性测试，新一代Thermo Scientific™ Hyperion II Nanoprober 是唯一一款基于原子力显微镜（AFM）的纳米探针量测量仪。该仪器消除了基于 SEM 纳米探测技术的真空要求和电子束/样品相互作用。
纳米探针科技对单个晶体管进行电性测试，新一代Thermo Scientific™ Hyperion II Nanoprober 是唯一一款基于原子力显微镜（AFM）的纳米探针量测量仪。该仪器消除了基于 SEM 纳米探测技术的真空要求和电子束/样品相互作用。
Hyperion II的自动化操作和成像模式使其快速、易于使用，而其精确定位电性缺陷的能力极大地提高了后续双束束或透射电子显微镜分析的速度和效率。
Thermo Scientific™ iCAP TQs感应耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）是成熟的iCAP TQ ICP-MS的半导体版本。它提供了超高纯度化学品的快速、可靠和可再生的测量方法，以支持对先进的半导体制造过程进行自动化的在线监测和统计过程控制。Thermo Scientific™ iCAP TQs ICP-MS 为所有相关化学品提供了较低的检测限，并以较少的操作和更快的速度获得测量结果。这一新系统可以将化学分析从实验室转移至工厂。还可以在线控制化学浴，从而缩短响应时间并减少污染导致的损失。
展会现场吸引了众多专业观众前来问询了解，工作人员向问询客户详细介绍了我公司在半导体行业的综合解决方案，以及在物性及电性分析方面的突出领导领导能力。
（责任编辑：徐小刚）
